中商情報網訊：光刻機是制造芯片的核心裝備，它采用類似照片沖印的技術，把掩膜版上的精細圖形通過光線的曝光印制到硅片上。受益于下游需求旺盛，光刻設備有望量價齊升帶動市場空間不斷增長。

銷量情況

全球半導體設備行業復蘇,受益于下游晶圓巨大需求、服務器云計算和5G基礎建設的發展,帶動相關芯片的需求,2020年光刻機銷售額與銷量增速穩定提升。2020年全球光刻機銷量為413臺，隨著下游市場需求持續升高，預計2022全球市場仍將持續增長，銷量將達510臺。

數據來源：中商產業研究院整理

市場結構

光刻機行業銷量最多的是i-Line，占比達34%。其次分別為KrF、ArF immersio、Arf dry、EUV，占比分別為31%、19%、8%及8%。

數據來源：中商產業研究院整理