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MDDESD對于電子器件的破壞機理分析

2025-01-14 來源:深圳辰達半導體有限公司 作者:深圳辰達半導體有限公司 原創文章
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關鍵詞: ESD 電子器件 破壞機理 敏感性 預防措施

MDD的靜電放電(ESD)是電子設備和組件在生產、運輸和使用過程中常見的一種靜電現象。當帶電物體與電子器件接觸或靠近時,電荷快速轉移會形成瞬間高電壓和大電流,這種現象可能對電子器件造成不可逆的損害。以下將詳細分析ESD對電子器件的破壞機理及其后果。

1.ESD破壞的基本機理

ESD破壞通常是由瞬態高壓和大電流引發,主要通過以下幾種方式對電子器件造成影響:

1.1熱破壞

ESD過程中,大電流在器件內部產生局部過熱,可能引起材料的熔化或蒸發。

導電路徑損壞:半導體中的金屬導線可能因過熱而熔斷。

結區破壞:二極管或晶體管的PN結在高溫作用下可能被擊穿。

1.2電場擊穿

ESD產生的瞬態高電壓會導致器件內部的電場超過其耐受極限,破壞敏感結構。

氧化層擊穿:MOS器件的柵氧化層厚度極薄,強電場可能直接擊穿導致失效。

絕緣層破壞:芯片中的絕緣介質可能發生永久性破壞。

1.3電流損傷

快速變化的大電流會在器件中形成高電流密度,造成電遷移或金屬熔化。

金屬遷移:導電路徑中的金屬原子因高電流密度遷移,導致斷路或短路。

燒毀效應:瞬態電流會直接燒毀電路中的薄弱部分。

2.ESD破壞的主要表現

ESD對電子器件的破壞可以分為顯性和隱性兩種:

顯性破壞:器件完全失效,例如短路、開路或封裝損壞。

隱性破壞:器件性能下降,但仍能部分工作,例如參數漂移或噪聲增加,這種破壞可能在后續使用中導致器件壽命縮短或隨機失效。

3.不同類型器件的ESD敏感性

電子器件的ESD敏感性因其結構和材料不同而異:

MOS器件:因柵極氧化層薄,耐壓能力低,對ESD極為敏感。

雙極型晶體管:因結區面積較小,高電流密度易導致熱損傷。

LED和激光器:內部材料的脆弱性導致其對ESD電流尤為敏感。

高頻器件:工作頻率越高,其內部結構越小,ESD耐受能力越低。

4.ESD破壞的預防措施

為降低ESD的破壞風險,需要在設計、生產和使用環節中采取以下措施:

電路設計:增加ESD保護器件,如TVS二極管、靜電放電抑制電路。

工藝改進:在制造過程中使用防靜電材料及設備。

操作規范:在生產和運輸中,人員需佩戴防靜電手環、腳環,并使用防靜電包裝。

環境控制:在潔凈室中保持適當的濕度,降低靜電積累。

ESD破壞是現代電子行業不可忽視的問題,其影響不僅表現在器件本身的失效,還可能導致整機設備的不穩定或故障。通過深入了解ESD的破壞機理以及對電子器件的敏感性,可以更有效地采取針對性的防護措施,從而提升產品的可靠性和使用壽命。




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