臺積電前往美國、日本、德國及中國大陸投資設廠，2025年第三季度獲得政府補貼47.7億元新臺幣，累計前三季獲得718.98億元新臺幣政府補助，近2年共獲得1470億元新臺幣補助。

據臺積電財報數據顯示，臺積電子公司TSMCArizona、ESMC、JASM及臺積電南京廠等，得益于美國、德國、日本及中國大陸的設廠運營，取得當地政府補助款，主要用于補貼不動產、廠房及設備購置成本，以及建造廠房與生產運營所產生的部分成本與費用。

臺積電繼上半年取得671.28億元新臺幣政府補助后，第三季再獲得47.7億元新臺幣補助，今年前三季累計獲得718.98億元新臺幣補助；加計去年取得751.64億元新臺幣補助，臺積電近2年累計獲得1470億元新臺幣補助。

臺積電指出，TSMC Arizona、ESMC、JASM及臺積電南京等臺積電子公司分別與當地政府簽署補助合約，合約內容包含應遵守的建廠時程及其他條件。另TSMC Arizona得針對符合資格的投資，申請投資金額的25%作為投資補助。

臺積電美國亞利桑那州第1座晶圓廠于2024年第四季量產4nm制程，第2座晶圓廠完成建設，將量產3nm制程，正加速量產進度。臺積電規劃在亞利桑那投資1650億美元，建置6座晶圓廠、2座先進封裝廠和1座研發中心。

臺積電日本熊本第1座晶圓廠于2024年底量產，第2座廠營造工程已經展開，量產計劃依客戶需求和市場狀況而定。德國德累斯頓廠開始興建，進展良好，量產計劃也將依客戶需求及市場狀況而定。臺積電南京廠于2022年添加28nm制程產能。