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如果中國研發出28nm光刻機,美國的芯片禁令,將被瓦解

2023-08-04 來源:互聯網亂侃秀
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關鍵詞: 光刻機 芯片 中芯國際

近日,有媒體報道稱,國產28nm光刻機即將制造出來,并且是浸潤式光刻機。


一時之間,網友們沸騰了,因為這個消息實在太震撼了,要知道目前光刻機已經是國產芯片產業鏈中,最短的短板了。


而美國針對中國的禁令,也是以光刻機為主,卡住14nm及以下的光刻機及所有先進設備。



而浸潤式光刻機,雖然也屬于DUV光刻機的一種,經多重曝光之后,卻最高可以生產7nm的芯片,你說讓不讓人激動?讓不讓沸騰?


幾年前,中芯國際的梁孟松就表示,7nm芯片研發已經準備好,只等光刻機,如今假如有了28nm的光刻機,這一切不是迎刃而解了么?


可以說,有了這臺28nm的光刻機,那么美國的芯片禁令,都會因此而瓦解,因為再針對14nm工藝,可能都沒什么意義了。



當然,這則消息的真假未知,可能是真的,也可能是假的。


為何這么說?我們知道光刻機有三大件,分別是光源系統、物鏡系統、工作臺。


DUV光刻機的光源系統是一樣的,都是采用193nm的紫外線,這一塊,中國已經掌握了技術,因為90nm的光刻機,與28nm的光刻機,光源系統區別不是特別大。


工作臺這一塊,其實差別也不大,目前國內的華卓精科有雙工作臺技術,也被國產光刻機使用。



物鏡系統就差別大了,物鏡系統是指收集光線,使其具有可控的方向性,同時將這些光線,按照要求,投射到工作臺上。


浸潤式光刻機,要在晶圓上方加一層水,然后193nm的光線,經過水的折射后,變成等效134nm波長,所以物鏡系統與干式光刻機不一樣。


浸潤式光刻機的物鏡系統非常復雜,甚至可以說是光刻機中最昂貴最復雜的部件之一,涵蓋了光學、機械、計算機、電子學等多個學科領域最前沿。



而目前能夠制造浸潤式光刻機的廠商,就兩家,一家是ASML,一家是尼康。目前能夠制造浸潤式光刻機物鏡系統的,全球僅一家,那就是蔡司。


而ASML和尼康這兩家的浸潤式物鏡系統來源,均是蔡司。按照媒體的說法,浸潤式光刻機不僅要控制物鏡波像差,更要全面控制物鏡系統的偏振像差,全球僅有蔡司有這技術。


而蔡司與ASML關于物鏡系統是合作研發,雙方有協議的,蔡司不能將這些技術,提供給ASML不允許的任何第三方廠商,而尼康獲得這個技術是ASML許可的。



所以國產光刻機廠商,能不能掌握這個浸潤式光刻機的鏡鏡系統,很多網友是持懷疑態度的,覺得可能消息是假。


但現在已經是8月份了,離年底也就4個多月時間,那么就讓我們拭目以待吧,如果真的28nm光刻機制造出來,芯片禁令就不用怕了。