中文字幕大香视频蕉免费丨国产精无久久久久久久免费丨亚洲色大成成人网站久久丨网站黄在线丨把少妇弄高潮了www麻豆丨极品少妇xxxx精品少妇小说丨国产成人免费看一级大黄丨伊人激情丨狠狠插av丨久久综合九色欧美综合狠狠丨国产成人8x视频网站入口丨天堂av资源丨国产九一精品丨av网天堂丨久久久久久久久久久免费av丨免费看国产zzzwww色丨国产 日韩 欧美 制服丝袜丨日本黄色录相丨久久精品99久久久久久2456丨亚洲精品无码人妻无码丨黄色免费视频丨三级毛片国产三级毛片丨亚洲精品久久午夜麻豆丨亚洲网站免费观看丨日本三级全黄少妇三2020

歡迎訪問深圳市中小企業公共服務平臺電子信息窗口

進入14nm工藝,國產光刻膠大突破,減少對日本的依賴

2023-12-05 來源:科技專家
1165

關鍵詞: 光刻膠 芯片 半導體

目前的芯片制造工藝,均是光刻工藝,即通過光學--化學反應原理,將電路圖傳遞到硅晶圓上,形成有效的電路圖形。


而光刻工藝過程中,除了光刻機這種設備之外,還有一種化學材料必不可少,那就是光刻膠,它是光刻工藝中最核心的耗材,其性能決定著光刻質量。



大家都清楚,目前光刻機領域,日本處于壟斷地位,拿下了全球80%以上的份額,特別是在高端光刻膠領域,更是壟斷著市場,比如EUV光刻膠,全球僅日本廠商能夠制造。


這對于中國芯而言,肯定是無法接受的事情,因為供應鏈被日本壟斷,就有著斷供的風險,所以這些年,中國光刻膠雖然一直以中低檔產品為主,但高端領域正在逐步突破過程中,國產替代正在持續進行。



從具體的分類來看,光刻膠分為半導體光刻膠、LED光刻膠、LCD光刻膠和PCB光刻膠。其中半導體光刻機難度最高。


而半導體光刻膠按照工藝的先進性,又分為EUV光刻膠、ArF光刻膠、KrF光刻膠、I/G線光刻膠,這些光刻膠與光刻機又是一一對應,比如EUV光刻膠用于EUV光刻機,ArF光刻膠用于ArF光刻機。



由于國產光刻膠本來就起步晚,之前國產光刻膠,最多達到干式的ArF階段,也就是干式ArF光刻機能夠使用的光刻膠,從對應的芯片工藝來看,最高就是65nm左右。


不過近日,有國產廠商徐州博康表示,他們的2款濕法光刻膠,正在產品驗證導入階段,最高可以實現14納米節點。


另外他們的I線光刻膠有15款產品,KrF光刻膠有30款產品,ArF光刻膠有26款產品,足以對日本的眾多光刻膠進行國產替代。



事實上,研發光刻膠真的不容易,因為光刻膠是一些化學材料合成到一起的,研發過程就是是一個不斷進行配方調試的過程。


而配方則是成百上千的樹脂、光酸和添加劑的排列組合,要不斷的嘗試、驗證,調整,最后才成研制出來,更重要的是,研發光刻膠,也不能買現成的來反向分析構成,因為一些材料混合一起后,成本會發生變化,分析不出來的。


同時材料的提純等,也考驗廠商的能力,就算你知道某些材料的構成,但如果提純能力達不到,也是研制不出來成熟的光刻膠。



中國是全球第一大芯片市場,這幾年芯片產能不斷增長,更是制定了實現70%自給率的目標,所以對光刻膠的需求也是越來越大,同時隨著工藝推進,對高端光刻膠的需求也大增。


所以國產光刻膠廠商,還得繼續努力,完善產業鏈,加快供應鏈本土化,為光刻膠國產化貢獻力量,早點進入7nm,甚至5nm、3nm,真正解決后顧之憂。