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三星電子將從16層HBM開始逐步引入混合鍵合技術

2025-07-23 來源:愛集微 原創文章
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關鍵詞: 三星電子 HBM 混合鍵合技術 熱壓鍵合 半導體

三星電子預計將從16層高帶寬存儲器(HBM)開始逐步引入混合鍵合技術。

7月22日,在京畿道城南市韓國半導體產業協會舉辦的“商用半導體開發技術研討會”上,三星電子DS部門半導體研究所下一代研究團隊常務董事金大宇表示:“一旦HBM超過16層,現有的熱壓鍵合(TC)將無法實現”,并表示“我們正準備從16層HBM開始引入混合鍵合”。

HBM是一種將多個DRAM垂直堆疊以提高數據處理速度的半導體。鍵合是連接DRAM的工藝,而TC鍵合機是該工藝中必不可少的HBM制造設備。

隨著下一代HBM層數的增加,需要努力縮小堆疊間隙。因此,混合鍵合的引入正在被討論中。混合鍵合是一種消除現有微凸塊(焊球)并將DRAM直接連接到銅的技術,其優勢在于可以減少HBM的厚度。

三星電子表示,其將在16層的第7代HBM“HBM4E”中同時采用TC鍵合和混合鍵合技術,并將從20層的第8代HBM“HBM5”開始全面量產。

目前已商業化的最新HBM產品是第5代“HBM3E”,其堆疊層數最高可達12層。據推測,其將沿用現有技術,直至第6代HBM的16層“HBM4”,并從第 7 代產品開始逐步引入下一代技術。

金副社長表示:“如果間距小于15μm,我們將不得不轉向不使用焊料的混合鍵合技術”,并且“混合鍵合還具有散熱性好的優勢,因此我們正在積極研究。”