據韓媒thelec報道，韓國晶圓廠和顯示器生產設備制造商AP Systems近日表示，將為維信諾（Visionox）位于合肥的第8.6代OLED生產線V5獨家供應關鍵設備——準分子激光退火（ELA）和激光剝離（LLO）系統。

維信諾此次在合肥V5園區投資高達550億元人民幣，目標是建設一條采用其自主研發的ViP（Visionox in-house Pixelation）技術的產線。

目前，FMM長期被日韓企業壟斷，不僅成本高昂，且在大尺寸OLED生產中存在蒸鍍效率低、良率難控等問題。而ViP是維信諾自主研發的“智能像素化”技術，核心在于用半導體光刻工藝取代傳統的精細金屬掩模（FMM），實現無掩模、RGB自對位像素化的AMOLED生產方案。

該技術的最大亮點在于無需使用傳統的精細金屬掩模（FMM），即可實現高精度RGB像素圖案化。ViP技術被定位為 AMOLED+時代的升級平臺，兼容多種顯示技術（單層、Tandem 疊層等），可為從1?英寸到80?英寸的全尺寸面板提供統一的工藝路徑。

不過，要實現ViP技術的高效量產，離不開上游核心設備的支持。AP Systems將提供ELA設備，用于將非晶硅轉變為多晶硅。該工藝可將電子運動速度提高百倍以上，這對于高分辨率OLED面板至關重要。

而LLO工藝用于將玻璃基板與柔性OLED分離，主要通過利用激光束照射在聚酰亞胺基板和玻璃基板之間來實現。這一過程對激光能量控制精度要求極高，稍有偏差便可能損壞沉積的有機材料，直接影響面板良率與壽命。

AP Systems還表示，它不僅僅是V5項目的ELA設備唯一供應商，此前其也已為維信諾的V1、V2、V3產線提供同類設備。

 

責編：Jimmy.zhang