7.0級地震沖擊中國臺灣半導體晶圓廠,石英爐管損耗才是復工關鍵
2025-12-29
來源:聯合新聞網
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中國臺灣宜蘭外海12月27日深夜發生規模7.0地震,業者分析,對半導體產業影響僅次于“921”大地震及2024年“0403”地震,盡管多數機臺能快速復歸,但石英爐管的破損程度與備料匹配度,將成為產線能否全面復原的關鍵。
石英爐管是半導體制造過程中,位于擴散制程機臺核心的圓柱形容器,能提供相對純凈的空間,確保硅晶圓在加工過程中不被金屬離子污染。由于石英“硬而脆”的特性,地震時的劇烈晃動容易導致爐管與機臺框架發生碰撞而破碎。
提供邏輯與存儲晶圓代工服務的力積電表示,竹科與竹南的8英寸、12英寸廠產線均受地震影響,主要為石英相關設備與材料,相關損害仍在評估與盤點,受損細節尚未完全明朗。目前影響范圍涵蓋產線設備與關鍵材料,待盤點結果出爐后,才能更精準量化對財務與產能的沖擊。
力積電指出,此次地震的嚴重程度僅次于1999年“921”大地震和2024年“0403”地震、排在第三。從過往經驗看,規模較小的地震后約2~3天,產線可恢復正常運作,但此次需視石英爐管備料與實際損壞狀況而定。
力積電表示,石英爐管屬關鍵流程環節,修復與更換所需時間較長,其他機臺將盡快復歸,但整體復原時程取決于石英爐管材料供應與安裝恢復。雖然2024年“0403”地震后已增加石英材料庫存,仍需評估可用性與匹配度,若有破碎需更換,將延長裝機與校準的時間,進而影響后續晶圓交期。
存儲廠南亞科表示,內部仍在針對地震災損進行完整詳細的確認,還需要多一些時間,預計12月29日上班會統一說明。
根據中國臺灣地震報告,12月27日晚間11時5分發生芮氏規模7.0地震,地震深度72.8公里,震央位于宜蘭縣政府東方32.3公里(位于中國臺灣東部海域),中國臺灣多地最大震度4級。