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氣體污染原因揭曉 臺積電晶圓18廠影響如何?

2021-08-10 來源:經濟日報
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關鍵詞: 氣體污染 臺積電 晶圓

臺積電位于南科的晶圓18廠上個月底驚傳遭到氣體污染,外界一度憂心是否會影響蘋果iPhone年度新機的出貨進度。不過,目前看來,氣體污染事件的影響極其輕微,主要是因為這個化學反應的關系。


臺積電位于南科的晶圓18廠上周傳出疑因氧氣供應受到污染,導致部分產線停擺。由于晶圓18廠是臺積電最先進的5納米制程生產基地,大客戶正是美商蘋果,而8月又將進入iPhone處理器A15的生產旺季,引起市場高度關注后續影響。


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當時,臺積電就針對氣體污染事件表示,已實時調度其他氣體供應。為確保生產質量無虞,正進行嚴密后續作業;這事件目前已知對營運并無造成顯著影響,后續將持續追蹤。目前看來,該事件確實影響極其輕微。


據了解,當時晶圓18廠被污染,主要是因為半導體制程必備的氧氣,被混入了氬氣(Ar2)。氬氣是一種無色無味的惰性氣體,一般無害,但在高濃度下,會使人窒息。


這次晶圓18廠的氧氣雖然遭到氬氣污染,但因為氬氣并不參與化學反應,所以對生產過程沒有影響,工廠端只需要清洗儲存槽即可。


法人認為,這起氣體污染事件,將不影響臺積電8月營收表現,也不會干擾蘋果iPhone新機用的處理器A15生產。


氬氣常用于半導體、太陽能、顯示器和LED制造商,最常見的用途是為大型硅晶體的生長或大型整塊硅晶鑄塊的生產,提供一種惰性環境;晶體或晶塊經切割后制成太陽能和半導體行業所使用的硅片。


而太陽能芯片生產是氬氣消耗量最大的應用。氬氣還可用于吹掃電子工藝設備,以免較高溫度條件下發生有害化學反應。