晶瑞電材又購得光刻機 KrF光刻膠量產導入已排上日程
2021-12-09
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12月8日，晶瑞電材對外披露，公司近期已購得KrF光刻機一臺，可用于KrF光刻膠的曝光測試，同時公司KrF光刻膠量產化生產線正在積極建設中。此前，晶瑞電材已經購得用于負膠、g線、i線、ArF等4臺光刻機，再加之此次購得的KrF光刻機，晶瑞電材已經到位5臺光刻機。
目前，晶瑞電材KrF光刻膠已經完成中試，進入了客戶測試驗證階段。這意味著，此次晶瑞電材新購得深紫外線KrF光刻機后，可以快速投建其KrF光刻膠產線，加速其KrF光刻膠量產化進程，也是其KrF光刻膠量產并導入晶圓廠的最后一步。
