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一臺近30億元!ASML明年生產10臺全新EUV光刻機:Intel獨吞6臺

2023-12-22 來源:快科技
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關鍵詞: 臺積電 三星 英特爾

集邦咨詢的報告顯示,ASML阿斯麥將在2024年生產最多10臺新一代高NA(數值孔徑) EUV極紫外光刻機,其中Intel就定了多達6臺。


同時,三星星也在積極角逐新光刻機,臺積電感覺壓力巨大。



NA數值孔徑是光刻機光學系統的重要指標,直接決定了光刻的實際分辨率,以及最高能達到的工藝節點。


金屬間距縮小到30nm以下之后,也就是對應的工藝節點超越5nm,低NA光刻機的分辨率就不夠了,只能使用EUV雙重曝光和/或曝光成形(pattern shaping)技術來輔助,不但會大大增加成本,還會降低良品率。


因此,更高的NA成為必需。


ASML 9月份曾宣布,將在今年底發貨第一臺高NA EUV光刻機,型號“Twinscan EXE:5000”,從0.33做到0.55,光刻分辨率縮小到8nm,可制造2nm工藝乃至更先進的芯片。


ASML沒有公布第一臺高NA EUV光刻機的客戶,但業界普遍認為正是Intel。


Intel最初就計劃利用新光刻機投產Intel 18A工藝,但因為等不及,只能改用已有的0.33 NA NXE:3600D/3800E疊加雙重曝光。



ASML明年量產的高NA EUV光刻機,將是改進型的Twinscan EXE:5200,支持大規模量產。


未來,ASML將把年產量進一步提高到20臺左右。


這種新光刻機的成本和價格沒有公開,猜測至少3億美元,甚至可能達到或超過4億美元,也就是逼近人民幣30億元。


目前的低NA EUV光刻機需要2億美元左右。



相關消息,ASML總裁兼CEO皮特·溫寧克(Peter Wennink)將于2024年4月24日退休。


ASML監事會宣布,擬任命現任首席商務官兼管理委員會成員克里斯托弗·富凱(Christophe Fouquet )擔任公司下一任總裁兼CEO。


據悉,該任命須經2024年4月24日的年度股東大會批準。


即將上任的克里斯托弗·富凱(Christophe Fouquet )


ASML總裁兼CEO皮特·溫寧克(Peter Wennink)稱贊克里斯托弗是一位出色的繼任者,他從明年4月起領導ASML。克里斯托弗已在ASML工作了15年,主要負責 ASML的技術、產品和客戶工作。


克里斯托弗在ASML的職業生涯始于DUV業務,隨后領導了ASML快速增長的兩條業務線——應用業務和EUV業務,最近又領導了ASML的所有業務線。


“我們都擁有‘ASML DNA’——合作與伙伴關系。我將與Christophe密切配合,支持他順利進入新角色。”溫寧克說。


ASML現任總裁兼CEO皮特·溫寧克(Peter Wennink)


溫寧克從2013年7月以來一直領導著ASML,帶領這家荷蘭企業一步步邁向巔峰。過去十年里,ASML推出了最先進的晶圓制造設備,成為全球領先的光刻機巨頭。


今年9月,溫寧克在當地電視節目Nieuwsuur上表示,完全孤立中國是沒有希望的。如果我們不分享技術,他們就會自己去研究。


“中國有14億人,其中很多人都很聰明。他們會提出我們還沒想到的解決方案。你在迫使他們變得非常創新。”


溫寧克認為,試圖通過禁止技術移民和出口管制等方式孤立中國,實際上會削弱西方自己。


從9月1日開始,在美國方面的壓力下,荷蘭政府出臺的半導體設備出口管制新規正式生效,ASML發運TWINSCAN NXT:2000i及后續推出的浸潤式光刻系統,都要獲得荷蘭當局的許可。