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加速12英寸大硅片國產(chǎn)化 西安奕斯偉硅產(chǎn)業(yè)基地擴產(chǎn)項目開工

2022-06-14 來源:網(wǎng)絡整理
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關(guān)鍵詞: 12英寸 大硅片

6月14日,西安奕斯偉硅產(chǎn)業(yè)基地擴產(chǎn)項目于西安市高新區(qū)開工,奕斯偉硅產(chǎn)業(yè)基地目前擁有一座50萬片/月產(chǎn)能的12英寸硅片工廠,已于2020年7月投產(chǎn),為多家海內(nèi)外晶圓廠提供拋光片和外延片。本次擴產(chǎn)項目投產(chǎn)后將進一步提升我國半導體硅產(chǎn)業(yè)技術(shù)實力,強化集成電路產(chǎn)業(yè)鏈綜合競爭力。



近兩年來,受多重因素影響,集成電路產(chǎn)業(yè)產(chǎn)能緊俏,作為上游原材料的大硅片需求不斷攀升。然而,我國集成電路產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵原材料尚處于發(fā)展初期,硅片產(chǎn)能主要集中于小尺寸,大尺寸自給率低,約95%以上的12英寸主流硅片正片仍依靠進口,國內(nèi)產(chǎn)能存在巨大缺口。尺寸越大的硅片,其制造難度越高,對原材料純度、硅片平整度、表面顆粒數(shù)和金屬殘留量等技術(shù)指標的要求就越苛刻。