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加速12英寸大硅片國產化 西安奕斯偉硅產業基地擴產項目開工

2022-06-14 來源:網絡整理
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關鍵詞: 12英寸 大硅片

6月14日,西安奕斯偉硅產業基地擴產項目于西安市高新區開工,奕斯偉硅產業基地目前擁有一座50萬片/月產能的12英寸硅片工廠,已于2020年7月投產,為多家海內外晶圓廠提供拋光片和外延片。本次擴產項目投產后將進一步提升我國半導體硅產業技術實力,強化集成電路產業鏈綜合競爭力。



近兩年來,受多重因素影響,集成電路產業產能緊俏,作為上游原材料的大硅片需求不斷攀升。然而,我國集成電路產業關鍵原材料尚處于發展初期,硅片產能主要集中于小尺寸,大尺寸自給率低,約95%以上的12英寸主流硅片正片仍依靠進口,國內產能存在巨大缺口。尺寸越大的硅片,其制造難度越高,對原材料純度、硅片平整度、表面顆粒數和金屬殘留量等技術指標的要求就越苛刻。